可用于III-V族材料、II-VI族材料、金屬、陶瓷、光纖的研磨拋光。

Logitech PM6型精密拋光機(jī)，具體功能特點(diǎn)如下：

晶圓研磨機(jī)控制系統(tǒng)

PM6系統(tǒng)通過(guò)創(chuàng)新的設(shè)計(jì)和直觀的操作控制，突出了對(duì)工藝過(guò)程的可控拋光的所有功能和操作均通過(guò)觸摸屏電腦操作界面進(jìn)行，一個(gè)完整的菜單設(shè)置和工藝選項(xiàng)清晰顯示屏幕上，使得工藝存儲(chǔ)及調(diào)用操作更為便捷。

PM6系統(tǒng)提供拋光盤的速度，定時(shí)，以及擺幅等功能均可以通過(guò)操作界面設(shè)置和控制，機(jī)器運(yùn)行中計(jì)時(shí)器開始工作，在無(wú)人看管時(shí)可以設(shè)定計(jì)時(shí)器，在處理材料完成時(shí)機(jī)器會(huì)被停止，控制系統(tǒng)會(huì)在向操作員發(fā)出提醒。

PM6系統(tǒng)設(shè)有輔助驅(qū)動(dòng)夾具擺臂，加快研磨拋光速率，提高精度和工藝重復(fù)性。

直觀的操作控制系統(tǒng)

快速、高效的研磨/拋光盤，便于拆卸，方便用戶在不同的研磨和拋光過(guò)程之間的快速轉(zhuǎn)換。這種靈活性使PM6系統(tǒng)成為實(shí)驗(yàn)室空間有限的情況下的選擇。

晶圓研磨機(jī)主機(jī)整體防腐蝕設(shè)計(jì)，系統(tǒng)可以在腐蝕性環(huán)境下工作。